微源检测推出超净间离子污染物痕量检测方案

 

百级超净间

 

芯片的生产过程中会使用到很多试剂，如硫酸、氨水等，而这些试剂挥发到空气中会对芯片造成晶体缺陷、雾状缺陷等，因此：监控环境空气和超纯水中离子的含量是非常必要的。但众所周知，空气中与超纯水中的杂质离子含量这么低，通过什么手段实现检测呢？

 

微源检测公司拥有的离子色谱ICS-5000+配置AM模块通过大体积浓缩进样，可轻松实现如上要求，完全可以达到芯片生产过程中对环境与水的控制。

 

 

 

ICS 5000+双系统，直接进样分析，可同时在线检测超纯水中痕量（>50ppt）阴阳离子，可参考下图原理：

 

 

直接进样流路图

 

1、配置AS-HV以后的ICS 6000

可实现大体积浓缩进样，从而进一步提高灵敏度降低检出限（<20ppt），通过大定量环进样品，小定量环进标准品，也大大降低了痕量分析的操作门槛。

 

 

ICS 6000配备AS-HV

 

 

大小环进样流路图

 

2、可选配ICW3000在线超纯水机

在线制备离子色谱分析过程中所需超纯水，从而给淋洗液提供更纯的水源，自带10L/20L两种水箱，无需频繁加水，可真正实现长达30天的无人值守自动运行。

 

 

3、配备空气采样器

由真空泵以恒定流速抽取环境空气，超纯水吸收空气中阴阳离子后上离子色谱检测。根据抽取时间与流速从而计算抽取空气体积，得出空气中离子含量。

 

 

空气采样器

 

那么实际效果如何呢？请看如下两张谱图：

 

 

常规阴离子谱图（1-10ppt）

 

 

常规阳离子谱图（20ppt）

 

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